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喜讯 | 新普京888.3app两项科技成果顺利通过专家评价并获批公示

发布时间:2023-10-31 阅读量:2138

2023年915日,新普京888.3app完成的“新一代MEMS电容式温湿度智能传感器的研发及产业化”“基于MEMS热膜式直通微小流量传感器的研发及产业化”两项科技成果顺利通过专家评价科技成果评价会广州生产力促进中心有限公司组织召开由来自华南理工大学中山大学广东工业大学暨南大学中科院广州电子技术有限公司季华实验室广东中科新微安全科技有限公司等单位7位专家组成评价专家组

评价专家组听取了目汇报,审阅了评价材料,经质询和讨论一致认为两项成果整体技术水平达到国际先进

两项科技成果于2023年10月30日广州市2023年第十四期科技成果登记公示现同步进行完成单位公示,公示内容如下:

“新一代MEMS电容式温湿度智能传感器的研发及产业化”

项目研发了高可靠性、高精度的新一代MEMS电容式温湿度智能传感器,结合新普京888.3appMEMS智能传感器全产业链模式,实现了传感器产业化,打破国外垄断局面,实现国产替代。

项目成果具有明显创新性

1)引入光敏基团和多官能团胺交联型聚酰胺酸薄膜,降低了温湿度传感器在恶劣环境(高温高湿85℃;85%RH)的湿度偏差;

(2)采用三(4-氨苯基)胺多官能团胺类前驱体,提高了温湿度传感器的长期稳定性,实现年漂移<1%RH;

(3)采用磁控溅射金属镀膜工艺,研制三段式加热自恢复纳米金属加热层,实现了传感器快速脱湿,从而降低湿滞

项目已获发明专利5件、实用新型专利4件外观设计专利6件软件著作权2,拥有自主知识产权。项目成果均已经第三方质量检测机构检测,所检项目符合相关技术要求,产品已获CE、RoHS、REACH等认证取得了良好的经济和社会效益。评价专家组认为,成果整体技术水平达到国际先进。

温湿度传感器

“基于MEMS热膜式直通微小流量传感器的研发及产业化”

项目研发了高精度、低压损、高灵敏度、正负流向的MEMS热膜式直通微小流量传感器,结合新普京888.3appMEMS智能传感器全产业链模式,实现了传感器产业化,打破国外垄断局面,实现国产替代。

项目成果具有明显创新性

1)采用四元件集成复合硅杯薄膜结构,实现了正负流向感知;

(2)引入DRIE深硅刻蚀工艺,对硅杯进行垂直深刻,刻蚀角度提升至89.5°,缩小了芯片尺寸;

(3)通过算法优化,提升传感器在压力波动状态下的稳定性以及响应速度

项目已获发明专利3件、实用新型专利5件外观设计专利4软件著作权1项,拥有自主知识产权。项目成果均已经第三方质量检测机构检测,所检项目符合相关技术要求,产品已获CE、RoHS、REACH等认证取得了良好的经济和社会效益。评价专家组认为,成果整体技术水平达到国际先进。

流量传感器


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