一、产品简介
AGP21 系列是一款高精度电容式薄膜真空规,金属膜片因压强变化而偏移。偏移反应为电容量的变化,由数字电路测量并转换成模拟线性输出信号,输出信号与气体类型无关。AGP21 系列适用于在光伏、半导体及工业市场中测量对过程控制至关重要的低真空压力范围。AGP21 系列使用 Inconel 材料,可耐受腐蚀性工艺介质。AGP21 系列具有噪声低、响应时间快、不受环境影响及长期稳定性等特点,满足当今关键控制应用需求。
二、产品特点
• 耐化学品的Inconel®设计
• 精密真空测量
• 电路噪声低、响应快
• 不易受环境条件变化影响
• 出色的抗过压设计
• 符合 CE 和 RoHS 规范
三、应用场景• 半导体行业
• PECVD/ALD工艺设备
• 等离子体刻蚀工艺设备
• 石化行业
• 等离子体灭菌器
• 真空包装